S01000 - SEMI S10 - 위험성 평가 및 위험성 검토 절차 안전 가이드라인 StdPbc-0421 SEMI F3 — Guide for

SEMI F3 — Guide for Welding Stainless Steel Tubing for Semiconductor Manufacturing Applications

本仕様はSEMIセンサ／アクチュエータネットワーク（SAN: Sensor/Actuator Network）スタンダード・グループの一部であり，PROFIBUSスタンダードに基づいた独自の通信プロトコルを定義するものである。このネットワーク通信スタンダード（NCS: Network Communication Standard），SEMIセンサ／アクチュエータネットワーク・スタンダードグループおよびPROFIBUSスタンダード全部で一つのオープンスタンダードを完璧にそして明白に定義している。そのスタンダードは半導体製造装置内でネットワーク化されたデバイスに標準仕様として相互運用性を持たせるための業界独自の方法を提供することになる。

35-88 (first published)

ウェーハIDリーダの機能スタンダードは，ウェーハIDリーダと上位のコントローラとの包括的インタフェースに対する機能要求条件を扱う。

S01000 - SEMI S10 - 위험성 평가 및 위험성 검토 절차 안전 가이드라인 StdPbc-0421 SEMI F3 — Guide for(Environmental Health & Safety Global Technical Committee) . (Audits and Reviews Subcommittee) 2015 1 5 2015 2 www. semiviews. org www. semi. org . 1996 12 2010 5 . : ":" , . NOTICE: This translation is a REFERENCE COPY ONLY. If differences should exist between the English version and a translation in any language, the English version is the official and authoritative version. : , , . krstandards@semi. org. . , . , EHS . . . , . Referenced SEMI